半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散爐 箱式氣氛爐 單溫區(qū)硅碳棒加熱
時間:2024-09-07 09:29:36 點(diǎn)擊:170 次
產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散爐 箱式氣氛爐 單溫區(qū)硅碳棒加熱
一、概述
箱式爐系周期作業(yè)式,供實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)、科研單位作元素分析測定和小批量生產(chǎn)用。
二、規(guī)格、型號
型號:BXS-5-16
有效工作尺寸:150*140*140mm(深*寬*高)
爐膛材質(zhì):高純陶瓷纖維(日企)
燒結(jié)時間:可根據(jù)產(chǎn)品工藝調(diào)節(jié)
使用方法:在空氣中燒結(jié)
額定功率:≈5KW(實(shí)際功率由儀表自動控制輸出)
電壓:220V
額定溫度:1650℃
三、具體安裝使用方法說明
本設(shè)備可直接放置于室內(nèi)干燥,平整的地面上,要求通風(fēng)排風(fēng)良好。
1、烘爐
電爐在正式使用前必須烘爐,以排除爐內(nèi)的水分(包含吸附水與結(jié)構(gòu)水)。
烘爐以10-30℃/h升溫,直至爐溫升到1200℃,烘爐時間不得低于24—36小時。電爐停爐半年以上必須重新烘爐。
2、物料簡易燒結(jié)流程
通入電源—設(shè)定溫度曲線—放入產(chǎn)品—關(guān)閉爐門一啟動加熱一降溫完成工藝燒結(jié)—取料、關(guān)閉電源。
注:半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散爐 箱式氣氛爐 其他型號規(guī)格可以根據(jù)用戶實(shí)際需求設(shè)計,
價格僅參考,歡迎咨詢詳談:0510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理