半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散爐 箱式氣氛爐 單溫區(qū)硅碳棒加熱

時間:2024-09-07 09:29:36 點(diǎn)擊:170

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產(chǎn)品名稱半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散爐 箱式氣氛爐 單溫區(qū)硅碳棒加熱


一、概述

箱式爐系周期作業(yè)式,供實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)、科研單位作元素分析測定和小批量生產(chǎn)用。

 

二、規(guī)格、型號

型號:BXS-5-16

有效工作尺寸:150*140*140mm*寬*高

爐膛材質(zhì):高純陶瓷纖維日企

燒結(jié)時間:可根據(jù)產(chǎn)品工藝調(diào)節(jié)

使用方法:在空氣中燒結(jié)

額定功率:≈5KW實(shí)際功率由儀表自動控制輸出

電壓:220V

額定溫度:1650℃


三、具體安裝使用方法說明

本設(shè)備可直接放置于室內(nèi)干燥,平整的地面上,要求通風(fēng)排風(fēng)良好。

1、烘爐

電爐在正式使用前必須烘爐,以排除爐內(nèi)的水分(包含吸附水與結(jié)構(gòu)水。

烘爐以10-30℃/h升溫,直至爐溫升到1200℃,烘爐時間不得低于2436小時。電爐停爐半年以上必須重新烘爐。

2、物料簡易燒結(jié)流程

通入電源—設(shè)定溫度曲線—放入產(chǎn)品—關(guān)閉爐門一啟動加熱一降溫完成工藝燒結(jié)—取料、關(guān)閉電源。

 

注:半導(dǎo)體晶圓擴(kuò)散爐 箱式氣氛爐 其他型號規(guī)格可以根據(jù)用戶實(shí)際需求設(shè)計,

價格僅參考,歡迎咨詢詳談:0510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理