油擴(kuò)散泵比機(jī)械泵能獲得更高的真空度
時(shí)間:2022-11-14 10:00:37 點(diǎn)擊:534 次
機(jī)械泵并不能獲得較高的真空度,要獲得更高的真空度,可采用擴(kuò)散泵,并與機(jī)械泵構(gòu)成高真空機(jī)組。機(jī)械泵作為擴(kuò)散泵的前置泵,高真空機(jī)組的工作真空度可達(dá)10-2-10-5Pa。擴(kuò)散泵工作時(shí),內(nèi)有高速流動(dòng)的蒸汽流,被抽氣體擴(kuò)散到蒸汽流中,然后被蒸汽流帶往排氣口,達(dá)到抽氣的目的,因此擴(kuò)散泵又稱(chēng)為蒸氣射流泵。蒸氣流由工作介質(zhì)油經(jīng)過(guò)加熱產(chǎn)生,這種利用油作為工作介質(zhì)的擴(kuò)散泵叫做油擴(kuò)散泵。
油擴(kuò)散泵上部為進(jìn)氣口,通過(guò)主閥門(mén)與真空爐腔相連,右下方是與前級(jí)泵連接的出氣口,底部?jī)?chǔ)有擴(kuò)散泵油的蒸發(fā)室,中間是帶有導(dǎo)流管的傘形噴嘴,金屬外殼周?chē)惭b有冷卻水管,擴(kuò)散泵油靠蒸發(fā)室下面的電爐加熱。
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